マイクロディスプレイ生産システム

オペレータフリーを目指したクリーン搬送システムや協創ロボットによるプロセス装置の自動段取り機構の搭載、
準備室の自動化など高品質で高い生産性を実現することが可能です。

マイクロディスプレイ生産システム

特徴

  • Wafer 8,12インチ対応 One Stop ソリューションを提供
  • ODF工法によるGap高均一性と高歩留まり生産を確保
  • マイクロディスプレイ生産実績豊富(Si-OLED、Micro LED Display、LCOS、HTPS)

リニアAMCモジュール生産システム
※AMC:Automated Material Connect

リニア循環搬送システムとインクジェットやディスペンサなど
高精度塗布機構を生産現場に合わせた用途に連動することで最適なモジュール生産を実現します。
また、ラミネータや貼合せ機構などシステムアップにも対応できます。

リニアAMCモジュール生産システム

QD/OLED用封止ライン

Quantum dot DisplayやOLEDなどプレミアムディスプレイの封止工程は、
ODF工程のブラッシュアップと自動化技術の融合により、
高環境化で高歩留まりの生産をOne Stopソリューションとして提供します。 。

ロールツーロール応用システム

特徴

  • 高精度、高速描画システム
  • フィル材粘度に合わせた豊富なヘッドバリエーション
  • 高精度、低歪み貼合せ機構
  • 環境対応(N2/CDA/大気)
  • 周辺機器取りまとめによるライン最適化

RGBインクジェット印刷システム

RGBインクジェット印刷システム
RGBインクジェット印刷システム
RGBインクジェット印刷システム

特徴

  • OLED、QD-OLED、QD-CF、QD-EL 各種成膜材料に適応
  • 大型基板対応プロセス設備と制御機構の実績多数
  • 塗布~成膜までOne Stopソリューション(塗布、乾燥、焼成、検査、環境制御)

メディカルセンサ形成システム

バイオチップ(DNA、タンパク質など)や感染症検査キットなどメディカルセンサ分野に適応した
インクジェット塗布機構を搭載した自動形成システムを提供します。

メディカルセンサ形成システム

ロールツーロール応用システム

当社コア技術であるロールツーロール搬送技術と塗布、貼合せ、ナノインプリント形成、
硬化プロセス機構をシステム化することで、大気成膜プロセスなどローコスト生産ソリューションを提供します。

ロールツーロール応用システム