沿 革
| 1985年10月 | 東京に本社を置く日立産機エンジニアリング(株)と日立機工(株)が合弁し、日立テクノエンジニアリング(株)発足。南千住の地に自主事業としてエレクトロニクス製造装置分野への進出を目指し機器事業所が誕生。 |
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| 1990年3月 |
茨城県龍ヶ崎市に新工場を建設し工場を同所に移転、
機器事業所を製品事業部 竜ヶ崎工場と改称。  製品事業部 竜ヶ崎工場 (1990年3月) |
| 1998年6月 | 実装技術センタを開設。 |
| 2001年10月 | 日立テクノエンジニアリング(株)が(株)日立製作所 土浦工場を会社分割により承継し、(株)日立インダストリイズ発足。 |
| 2001年12月 | 中国南京熊猫(PANDA)電子との合弁により汎用印刷機を製造・販売する南京熊猫日立科技有限公司を設立。 |
| 2002年11月 | 上海事務所を設立。 |
| 2004年9月 | 台湾事務所を設立。 |
| 2006年4月 | (株)日立製作所(産業プラント部門)、日立プラント建設(株)、(株)日立インダストリイズ、日立機電工業(株)が統合し、(株)日立プラントテクノロジー発足。 台湾事務所を台北支店へ変更。 守谷サテライト工場を建設。 |
| 2007年4月 | 中国南京熊猫電子有限公司（PANDA)電子との合弁を解消し100%独資による南京日立科技有限公司へ社名変更。 |
| 2008年11月 | 上海事務所を南京日立科技有限公司へ統合。 |
| 2013年4月 | (株)日立製作所と(株)日立プラントテクノロジーが合併、(株)日立製作所 インフラシステム社 メカトロニクス事業本部を設立。 |
| 2016年7月 | (株)日立製作所より新設分割によって分社し、新会社として、AIメカテック(株)発足。 |
| 2016年9月 | 南京日立科技有限公司から南京新創機電科技有限公司へ社名変更。 |
| 2018年7月 | プロセス開発センタを開設。 |
| 2021年7月 | 東京証券取引所市場第2部上場 |
| 2023年3月 | 東京応化工業（株）よりプロセス機器事業分割準備会社を吸収合併 |
| 2023年7月 | ㈱オプトランと持分法適用関連会社となる合弁会社 ナノリソティックス㈱を設立 |