受賞歴
| 1996年 | 財団法人 機械振興協会 第26回中堅中小企業 新機械開発賞 「高精度塗布装置」 |
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| 2003年 | リードエグジビションジャパン株式会社 アドバンストディスプレイオブザイヤー 2003製造装置部門 グランプリ 「世界初ODF 量産ライン」 |
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| 2005年 | 財団法人 機械振興協会 第２回新機械振興賞 経済産業大臣賞「世界初ODF量産ライン」 |
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| 2009年 | 公益社団法人 発明協会 関東地方発明表彰 発明奨励賞「高精度貼合せ」 |
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| 2010年 | 公益社団法人 発明協会 関東地方発明表彰 発明奨励賞 「液晶パネル製造方法」 |
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| 2015年 | 公益社団法人 発明協会 関東地方発明表彰 千葉県発明協会会長賞 「フラットパネルディスプレイ製造装置」 |
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| 2017年 | 公益社団法人 発明協会 関東地方発明表彰 発明奨励賞 「LC-IJP液晶滴下用インクジェット装置」 |
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| 2017年 | 財団法人 機械振興協会 第15回新機械振興賞 中小企業庁長官賞 「高精細ディスプレイ向け極微量・高精度・平坦化塗布装置の開発 |
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| 2019年 | 公益財団法人 日本発明振興協会と日刊工業新聞社共催 「第44回 発明大賞」発明功労賞 「高精細ディスプレイ向け 高精度・極微量インクジェット塗布装置」 |
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| 2021年 | 公益財団法人 市村清新技術財団 「第５３回（令和２ 年度）市村賞 市村産業賞」 貢献賞 「高精細ディスプレイ向け 高精度・極微量インクジェット塗布装置の開発」 |
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