半导体工艺装置事业

半导体工艺装置事业以用化学来回应社会的期待为基本,通过使材料发生化学反应或进行特殊处理,从而致力于确保工艺优越性的设备的开发、制造和销售。
作为半导体实装设备,我们推出了支持三维实装的晶圆处理系统、面向扇出工艺的封装设备、利用等离子去除晶圆上的抗蚀剂的干灰化设备。
同时,还拥有通过使光刻胶在UV下发生反应,提高等离子耐受性、耐热性的UV硬化设备等多种产品。

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艾美柯技术株式会社
半导体工艺装置事业本部
电话号码 0467-74-2127
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