发展历史
| 1985年10月 | 总部设在东京的日立产机工程株式会社和日立机工株式会社合并成立了日立科技工程株式会社 作为自主事业，为了进出电子制造装置领域，诞生了机器事业所 |
|---|---|
| 1990年3月 |
在茨城县龙崎市建设了新工厂，机器事业部就搬到此地并把名称改成制品事业部龙崎工厂
 制品事业部龙崎工厂 (1990年3月) |
| 1998年6月 | 开设了表面贴装技术中心 |
| 2001年10月 | 日立科技工程株式会社继承了通过公司拆分分出来的株式会社日立制作所土浦工厂，成立了株式会社日立工业 |
| 2001年12月 | 和中国南京熊猫（PANDA）电子合并设立了制造销售通用印刷机的南京熊猫日立科技有限公司 |
| 2002年11月 | 设立上海事务所 |
| 2004年9月 | 设立台湾事务所 |
| 2006年4月 | 株式会社日立制作所（工业成套设备部门）、日立成套设备建设株式会社、株式会社日立工业、日立机电工业株式会社进行整合，成立株式会社日立工业设备技术 台湾事务所变更为台北支店 守谷卫星工厂设置 |
| 2007年4月 | 解除和中国南京熊猫（PANDA）电子的合资，变更公司名称为100%独资的南京日立科技有限公司 |
| 2008年11月 | 统合上海事务所到南京日立科技有限公司 |
| 2013年4月 | 株式会社日立制作所与株式会社日立成套设备科技合并，成立株式会社日立制作所基础设施系统公司机电一体化事业本部 |
| 2016年7月 | 从株式会社日立制作所通过分立新设成立公司名称为艾美柯技术株式会社的新公司 |
| 2016年9月 | 南京日立科技有限公司改名为から南京新创机电科技有限公司 |
| 2018年7月 | 开设了制程开发中心 |
| 2021年7月 | 东京证券交易所第2部上市 |
| 2023年3月 | 吸收合并东京应化工业株式会社分割出的工艺机器事业 |
| 2023年7月 | 与OPTORUN Co.，Ltd.成立适用权益法关联公司的合资公司Nano-Lithotics Technologies Inc. |