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柔性有机EL用TFE形成装置

将形成良好的薄膜所需要的喷墨(Inkjet)技术,搬送技术,
固化技术作为综合解决方案提供

柔性有机EL用TFE形成装置

特征

  • 抑制边缘突起部分的独自涂布控制
  • 由气浮搬送抑制搬送时的下垂
  • 不受UV照射(曝光)影响的独自结构
  • 考虑到材料特性的平坦化技术