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减压干燥装置其他周边设备

薄膜形成制程工艺上,包括环境系统,干燥・固化炉等的整套系统的制程工艺开发。
至今的丰富经验和专项技术加以模拟解析,提供最佳的系统方案。

减压干燥装置其他周边设备

特点

  • 搬送设备,减压干燥炉,UV固化炉,加热固话路等
  • 环境设备(N2/CDA环境等)
  • CIM通讯