AI MECHATEC AI MECHATEC

マイクロディスプレイ用 ODFライン

高機能プロジェクタやAR/VR端末に採用されているマイクロディスプレイは
シリコンウェハ上への極細線描画/極微量滴下/高精度貼合せプロセスとハンドリング技術が
要求されます。LCOS、Si-OLED対応として最適ソリューションを提供しています。

薄膜関連装置

特徴

  • 高速、極細線描画対応
  • 極微量高精度塗布機能
  • ウェハ対応高精度貼合せ機能
  • ライン最適化ウェハ搬送システム(FOUP対応など)
  • 塗布材料の供給経路に異物発生、混入しない塗布ヘッドの採用