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有機EL用発光層(RGB)成膜装置

印刷ムラを抑制する独自スキャン方式を搭載したインクジェット装置をはじめ、
気流解析シミュレーション結果に基づく真空乾燥炉をシステムとして提供しています。
又、本システムは量子ドット(Quantum Dot)分野への応用技術として取り組んでいます。

有機EL用発光層成膜装置
有機EL用発光層成膜装置

特徴

  • 高精度・高速インクジェット塗布
  • 対象ワークに応じた最適ヘッド選択可能
  • 印刷ムラを抑制する独自スキャン方式採用
  • 高生産性を実現する安定稼働機能
  • 環境制御( N2/CDA/大気、ケミカルトラップなど)