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減圧乾燥装置他周辺設備

薄膜形成プロセスには、環境システム、乾燥・硬化炉などを含めた
システム全体としてプロセス構築が求められています。これまでの豊富な経験と
ノウハウにシミュレーション解析を加え最適なシステムを提案しています。

減圧乾燥装置他周辺設備

特徴

  • 搬送装置、減圧乾燥炉、UV硬化炉、加熱硬化炉など
  • 環境設備(N2/CDA環境など)
  • CIM通信